Propiedades de peliculas delgadas de IZO impurificado con nitrogeno

En el presente trabajo, se hace la caracterizacion optica y electrica con la tecnica de Elipsometria Espectral, de peliculas delgadas de IZO impurificadas con nitrogeno.

Estas peliculas pertenecen a la familia de oxidos conductores transparentes (TCO's), en donde una de sus cualidades es que son materiales con alta transparencia en las regiones de infrarrojo cercano, visible y ultravioleta; teniendo las caracteristicas de baja resistividad electrica, buena movilidad y alta concentracion de portadores de carga libres.

Para depositar las peliculas de oxido de zinc e indio (IZO) dopado con nitrogeno, se utilizo la tecnica de pulverizacion catodica reactiva asistida por radiofrecuencia.

Esta tecnica es altamente reproducible y tiene un alto control en la incorporacion de las impurezas.